Оптичні лабораторні мікроскопи Latimet – це високотехнологічна оптична система, призначена для контролю якості, аналізу дефектів та вимірювання критичних розмірів на поверхні напівпровідникових пластин (кремнієвих пластин з інтегральними схемами). Їхня сфера застосування – мікроелектроніка.
Основним призначенням мікроскопа у виробництві напівпровідників є отримання високо деталізованого зображення поверхні зразка.
Освітлення:
Світло від потужного джерела спрямовується на зразок (зазвичай зверху, оскільки напівпровідникові пластини непрозорі).
Формування зображення:
Світло, відображене від поверхні, проходить через систему лінз (об'єктив) і фокусується, створюючи збільшене зображення.
Візуалізація:
Зображення або передається на окуляр для спостереження оператором, або, що частіше трапляється в сучасному обладнанні, фіксується цифровою камерою високої роздільної здатності для відображення на моніторі та автоматизованого аналізу.
